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供应程控扩散炉，半导体电力电子器件行业用，青岛，质优价格合理

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产品说明： 扩散炉主要满足半导体电力电子器件行业、大功率集成电路等行业，对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。 主要技术指标：

★可处理硅片尺寸：2—8英寸 ★外型形式：卧式1—4管结构   ★工作温度：200℃—1300℃

★恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±0.5℃   ★单点温度稳定性、重复性：≤±0.5℃／24h

★温度斜变：可控升温速率20℃／min，   ★可控降温速率：5℃／min

★送片装置：全自动悬臂推拉舟、拉杆是推拉舟、手动推拉   ★气路系统：1—5路工艺气体／管

★气体控制：全自动MFC、手动浮子流量计    ★控制方式：工控机、触摸屏

联系方式

供应商青岛鼎祥机械有限公司的相关信息如下

主营概要：其他电子产品制造设备、竹质工艺品、其他行业专用设备、其他工控系统及装备

企业简介：   青岛鼎祥机械有限公司专业从事液压系统、气动系统、非标设备、电气工程的设计、制作、安装、调试、维修的专业公司。   公司为客户提供工业机器人生产线，我司是ABB上海工程有限公司的合格供应商。是雅马哈工业机器人山东地区代理。   我司销售、维修新、二手加工中心，主要代理大丸、艾格玛、丽伟等品牌。   我司拥有专业的人才队伍，丰富的实际操作经验，期待与您开展合作！我们的宗旨是：踏踏实实做人、认认真真做事！ 查看更多介绍信息

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